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焦檢測(cè)系統(tǒng)相比較顯微鏡及千分尺檢測(cè)法，該方法利用顯微鏡中成像的清晰度變化代替機(jī)械法檢測(cè)，具有較高的測(cè)量精度；但是檢測(cè)系統(tǒng)操作復(fù)雜，小尺寸微透鏡陣列的測(cè)量過(guò)程中尋找其焦點(diǎn)和頂點(diǎn)位置較困難，測(cè)量效率不能滿足相應(yīng)的要求。3，光強(qiáng)計(jì)法國(guó)內(nèi)外一些實(shí)驗(yàn)室利用光強(qiáng)計(jì)法測(cè)量微透鏡陣列的焦距，如圖3-1所示，利用微透鏡陣列焦面附近的光強(qiáng)變化確定最終的焦點(diǎn)位置。圖3-1 光強(qiáng)計(jì)測(cè)量微透鏡陣列焦距光強(qiáng)計(jì)測(cè)量微透鏡陣列的焦距時(shí)，其檢測(cè)系統(tǒng)由光源及準(zhǔn)直系統(tǒng)、分光鏡、被測(cè)微透鏡陣列、反射鏡、成像物鏡、孔徑光闌和光強(qiáng)探測(cè)器組成。經(jīng)過(guò)準(zhǔn)直的平行光經(jīng)分光鏡后通過(guò)微透鏡陣列成像，當(dāng)在微透鏡陣列的焦距放置反射鏡時(shí)，光線以光軸為對(duì)稱 ...
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