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中文：橢圓偏振測量術；英文：ellipsometry

關鍵詞

解釋

簡稱“偏振測量術” “橢偏術”。利用橢圓偏振光在遇到樣品被反射散射或透射時，其偏振狀態的改變而實現的一種測試技術。常用于測量薄膜的厚度、折射率等光學常數，并廣泛用于生物學、半導體物理、腐蝕與表面科學以及電化學等領域。

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