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了調零過程，圖像獲取速率可以達到攝像機的zui高幀率，提高了測量速度，也減小了人為誤差；而且對光束強度的均勻性沒有要求，測量性能大大提高，可以實時檢測樣品表面缺陷和污染。2019 年日本東北大學采用三步相移橢偏成像技術，以橢偏測量術結合時間相移圖像處理單元進行相移成像橢偏測量。與光度法相比，該技術通過四分之一波片（QWP）和旋轉線性偏振片（RLP）插入相移，根據旋轉線性偏振片的方位角進行連續采集，在恒定旋轉速度下，選擇具有相等角度間隔的三個角度，在恒定時間內得到三幅圖，用于測量納米材料厚度，結構如下圖所示。三步相移成像橢偏儀結構示意圖其中，使用QWP和RLP插入相移。由于相移圖像是根據RLP的 ...
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