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ENGLISH

中文：掃描干涉場曝光；英文：scanning beam interference exposure

關鍵詞

解釋

兩束小截面高斯激光相干涉形成直線度誤差為幾納米的干涉條紋，通過精密工作臺的二維運動以掃描方式將干涉條紋記錄于光刻膠上的一種感光過程。

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