中文：探針式輪廓術(shù)；英文：probe profllometry的原理；中文：探針式輪廓術(shù)；英文：probe profllometry的定義；中文：探針式輪廓術(shù)；英文：probe profllometry是什么。
利用探針沿著預(yù)先設(shè)定好的路線對被檢非球面進(jìn)行逐點(diǎn)掃描，得到非球面表面各測量點(diǎn)相對于某一測量基準(zhǔn)的絕對矢高的輪廓測量方法。可通過軟件對測量的離散點(diǎn)數(shù)據(jù)進(jìn)行處理并與理論值相對比，直接得到非球面表面各點(diǎn)的三維坐標(biāo)值和非球面表面形狀誤差。