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中文：微懸臂梁紅外探測器；英文：micro-canti- lever infrared detector

關鍵詞

解釋

用兩種熱脹系數不同的材料黏合而成的復合膜制成的微懸臂梁結構作為敏感元，利用其受熱后的形變轉換成電容或者反射鏡角度的變化來探測紅外輻射的光電探測器。

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