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溝槽深蝕刻脊波導激光器，采用380nm SiNx作為側壁絕緣，并向下安裝在復合金剛石底座上。為了進行測試，所有的臺面和激光設備都安裝在AlN上的直接結合銅襯底上。電致發光(EL)光譜在不同溫度和脈沖電流(80kHz重復頻率;脈沖寬度100-500ns)，使用傅里葉變換紅外(FTIR)光譜儀進行步進掃描模式和ln2冷卻MCT探測器，波長截止為12.5μm。在快速掃描模式下，使用相同的FTIR設置獲得激光光譜。脈沖(200 ns;使用室溫MCT檢測器在80-300K的溫度范圍內測量了光電流-電壓(LIV)特性。圖2該設計在80K和297K下顯示了超寬增益光譜(圖2(a)和(b))，跨度超過一個倍頻 ...
備了雙通道脊波導激光器。沉積0.3 m厚的硅氮層用于側壁保溫。在頂部接觸處蒸發Ti-Au （30/300 nm）后，在激光脊周圍鍍上一層m厚的金層，以實現有效的傳熱。為了便于切割，在厚的電鍍金層中留下了小的間隙。晶圓減薄至150 m后，背面的Ge-Au （15/300 nm）接觸蒸發。激光被安裝在一個銅底座上，用In焊料和電線粘合。zui后，背面是高反射（HR）涂層的SiO -Ti-Au-SiO （400/15/100/100 nm）。了解更多詳情，請訪問上海昊量光電的官方網頁：http://www.arouy.cn/three-level-106.html更多詳情請聯系昊量光電 ...
5 mm的脊波導激光器。采用等離子體增強化學氣相沉積法（PECVD）沉積0.3 mm的SiOx絕緣層，通過電子束蒸發沉積30 nm/300 nm的薄鈦金頂部金屬觸點，然后將襯底減薄至200 mm，并沉積20 nm/200 nm的鍺金底部金屬觸點。直徑為190 mm的圓形平臺樣品（用于電致發光和電子傳輸測量）由相同的晶圓使用類似的技術制造，除了不需要SiOx絕緣層。激光器的腔長從0.5到4.0 mm不等，并在銅散熱片的外延側安裝。此外，還制作了具有埋置異質結構波導和固定腔長1.9 mm的激光器，在其背面涂覆高反射率涂層，并將外延面向上安裝。圖3圖2a顯示了臺面樣品在80k和300k下的電致發光光 ...
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