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下圖所示使用平行平晶對橢偏儀的橢偏角進行驗證。此時，按照斯涅爾定律和折射定律式上述兩個定律可以轉換為式中:rp— P 光反射系數；rs— S 光反射系數；θ1—入射角；θ2— 折射角；n1 — 空氣折射率；n2 — 平行平晶折射率。求解上式可得：此時，我們能夠很容易發現：橢偏角只與平行平晶的折射率相關，因此，只要確定了平行平晶的折射率即可得到橢偏角。下圖給出了使用折射率為1.46的平行平晶驗證光譜型橢偏儀橢偏角的實例。其中被校橢偏儀的入射角度為65°,求解上式可得的理論值為14.48°, Δ 的理論值為0° ,實際測量結果與理論值相差不超 過 ±0.5°。(a)橢偏角驗證結果 (b)橢偏角Δ驗 ...
是使用空氣和平行平晶作為標準，對橢偏儀特定橢偏角的測量結果進行驗證，但是這并不能保證橢偏角在全范圍內的量值準確可靠。基于以上分析，有必要給出一種更為完善的橢偏角校準方法，以保證光譜型橢偏儀橢偏角在較大范圍內測量結果的準確可靠，我們稱他為樣片測量法。根據橢偏儀測量流程可知，首先需要測量被測樣品得到橢偏角參數，然后建立測量模型通過擬合的方式得到薄膜的厚度。對于光譜型橢偏儀而言，不同材料、不同薄膜厚度的樣片，對應的橢偏參數是不相同的。假定被測樣品材料固定，則橢偏角和薄膜厚度建立了對應的關系，使用不同厚度的薄膜樣片就可以實現橢偏角的校準，測量形式如圖1所示。圖1 模型固定的橢偏儀測量形式目前，硅作為較 ...
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