工面前，通過分光鏡或者反射鏡的漏光，采一束樣品光進入探測器，樣品光需要的功率大約1mw，探測器可同時檢測近場光和遠場光，由此將光束的位置可唯yi確定。當激光指向發生變化，探測器所探測到的信號會發生變化，隨后控制器對信號進行處理，并控制反射鏡偏轉，將光束調整會zui開始設定的位置。2.響應速度快在進行鎖定之前會進行自由度的解耦，即將光束的角度X和Y方向以及位置X和Y方向的偏移進行解耦，實現通過四個反射鏡控制單一自由度，得到解耦矩陣。當系統發現光束的角度或者位置偏移之后，根據偏移信息和解耦矩陣可以直接計算得到反射鏡每一個軸需要移動的量，減少多自由度耦合情況下會出現的反復調節。此外壓電陶瓷可以保證極 ...
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