工面前，通過分光鏡或者反射鏡的漏光，采一束樣品光進(jìn)入探測(cè)器，樣品光需要的功率大約1mw，探測(cè)器可同時(shí)檢測(cè)近場(chǎng)光和遠(yuǎn)場(chǎng)光，由此將光束的位置可唯yi確定。當(dāng)激光指向發(fā)生變化，探測(cè)器所探測(cè)到的信號(hào)會(huì)發(fā)生變化，隨后控制器對(duì)信號(hào)進(jìn)行處理，并控制反射鏡偏轉(zhuǎn)，將光束調(diào)整會(huì)zui開始設(shè)定的位置。2.響應(yīng)速度快在進(jìn)行鎖定之前會(huì)進(jìn)行自由度的解耦，即將光束的角度X和Y方向以及位置X和Y方向的偏移進(jìn)行解耦，實(shí)現(xiàn)通過四個(gè)反射鏡控制單一自由度，得到解耦矩陣。當(dāng)系統(tǒng)發(fā)現(xiàn)光束的角度或者位置偏移之后，根據(jù)偏移信息和解耦矩陣可以直接計(jì)算得到反射鏡每一個(gè)軸需要移動(dòng)的量，減少多自由度耦合情況下會(huì)出現(xiàn)的反復(fù)調(diào)節(jié)。此外壓電陶瓷可以保證極 ...
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