解釋
中文:夏克-哈特曼檢測法;英文:Shack-Hartmann testing的原理;中文:夏克-哈特曼檢測法;英文:Shack-Hartmann testing的定義;中文:夏克-哈特曼檢測法;英文:Shack-Hartmann testing是什么。
一種反射鏡面形誤差檢測技術(shù)。具體原理為在被測反射鏡焦點位置放置點光源,發(fā)出的理想球面波經(jīng)待測鏡反射后在焦點附近被整形光學系統(tǒng)發(fā)散成近似平面波,該平面波被微透鏡陣列聚焦在CCD像面形成一組光斑,每個光斑位置表征了與其對應(yīng)的被檢鏡相應(yīng)子孔徑處波面的橫向像差。通過求解每個焦斑位置與理想位置的偏移量,可以得到相應(yīng)位置處的波面斜率,進而通過積分運算求得反射鏡面形誤差。該方法是20世紀70 年代夏克(Shack)在傳統(tǒng)哈特曼(Hartmann) 檢驗技術(shù)基礎(chǔ)上提出的,故命名為夏克-哈特曼(Shack-Hartmann