展示全部
的反射，通過菲涅耳公式得到光學參數和偏振態之間的關系來確定光學薄膜折射率和厚度。因其準確度高且為非破壞性測量，是測量光學薄膜折射率和厚度zui常用的一種測量儀器。橢圓偏振術的數學模型為式中:— 偏振角；Δ— 兩個偏振分量的相位差經薄膜后所發生的變化；d — 薄膜厚度；n0— 空氣折射率；n1— 薄膜折射率；n2— 襯底折射率；— 入射角度；— 入射光波長。和Δ分別反映了偏振光經過薄膜反射前后強度和相位的變化，統稱為橢偏角。目前，基于橢偏角的橢偏儀校準方法主要采用的是空氣測量法。空氣測量法驗證橢偏角準確度的過程是調整光譜型橢偏儀入射角，使入射光直接入射到其接收器。由于偏振光直接經過空氣進入接收器 ...
或 投遞簡歷至: hr@auniontech.com
