193nm紫外波前傳感器（512x512高相位分辨率）助力半導體/光刻機行業發展！摘要：昊量光電聯合法國Phasics公司推出全新一代193nm高分辨率（512x512）波前分析儀!該波前傳感器采用Phasics公司技術-四波橫向剪切干涉技術，可以工作在190-400nm波段，消色差，具有2nm RMS的相位檢測靈敏度，能夠精確測量紫外光波前的細微變化。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學元件表征（DUV光刻、半導體等領域）和表面檢測（透鏡和晶圓等）。193nm 紫外波前傳感器（512x512 高相位分辨率）在半導體/光刻機行業中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率，消色差，對震 ...

Phasics波前傳感器的應用案例（一）SID4在超快超強激光的前沿應用Phasics的波前傳感器憑借其卓越的精度和廣泛的適用性，已成為超快、超強激光設施中的關鍵診斷工具。以下是一些近期應用實例，展示了SID4系列波前傳感器在國際前沿科研中的應用場景及其對高能激光系統優化的貢獻：一、SID4在超快超強激光的前沿應用1.1對研究過程中因熱效應引起的波前畸變分析-中國科學院上海光學精密機械研究所和中國科學院大學材料科學與光電工程中心圖1 多程激光放大系統中國科學院上海光學精密機械研究所和中國科學院大學材料科學與光電工程中心的研發團隊選擇了Phasics SID4波前傳感器，對研究過程中因熱效應引起 ...

Phasics波前傳感器的應用案例（二）SID4在透鏡/鏡頭檢測方面的解決方案Phasics波前傳感器以其獨有的橫向四波剪切技術聞名，其推出的SID4系列波前傳感器以高靈敏度、高分辨率、高重復性的特點更受市場青睞，以下為SID4在透鏡/鏡頭檢測方面的具體案例應用。一、對復雜超表面進行精確表征的一種方法-超透鏡1.1 針對超表面測量Phasics具備的優勢傳統的低分辨率技術很難準確測量超透鏡的復雜特征，Phasics針對超透鏡提出了高效的解決方案，并具備以下4點優勢:Phasics sC8搭載顯微鏡測量場景1.亞波長空間尺度下的高精度測量：Phasics的波前傳感器不僅具備優于2nm RMS的光 ...

正信道的畸變波前和使用偏振復用高階復雜調制格式，實現了高吞吐量。研究發現，自適應光學系統不會對相干調制格式的接收產生畸變。此外，我們還介紹了星座調制——一種新的四維BPSK (4D-BPSK)調制格式，作為在很低信噪比下傳輸高數據速率的技術。通過這種方式，我們展示了53公里FSO傳輸速率為13.3 Gbit/s和210 Gbit/s，每比特分別只有4.3和7.8光子，誤碼率為1?10-3。實驗表明，相干調制編碼與全自適應光濾波相結合是實現下一代Tbit/s衛星通信實用化的有效手段。9.反向納米聚焦波導中鉺的發射增強（Emission enhancement of erbium in a rev ...

原因是激光的波前在光線內周期性振蕩。圖2 不同模式下光纖內光束質量為了更好的對比，我們模擬了基模激光分別從三臂輸入光纖合束器的情況，在Z=14mm處的光場分布如下圖3所示。激光計算可得三路合成時x，y方向上的平均光束質量分別為5.77和5.80，這樣的結果顯然不夠理想。圖3 基模三臂入射時Z=14mm處光場分布為了更為具體地確認入射激光中LP02模和LP11模對光束質量的影響，特意加入了一個中間模式——80%LP01+10%LP02+10%LP11。隨后我們對四種情況進行仿真，得到了四種模式下激光入射到光纖功率合束器后再Z=25mm處的光場分布，如圖4所示。圖4四種模式下激光入射到光纖功率合束 ...

測試參數包括波前通過視場，通過光譜范圍(從可見光到近紅外)，孔徑像差-球面像差，彗差，像散;場像差-失真，場曲率;色差-波前色差，橫向和軸向色差等。2. 通過物鏡、針孔單元和D7干涉儀的精確線性運動來測試視場。3. 檢測精度如下表所示：3.畸變校正1. DifroMetric軟件導出/導入數據傳輸為標準光學設計軟件(ODS)。2. 物鏡的測量像差可用澤尼克條紋系數表示。3. 實測像差系數CFZM可與設計系數CFZD進行數據比較，DifroMetric和光學設計軟件之間可交互作用。4. 比較的結果有助于選擇參數包括-氣隙，或其他參數，這對于在裝配過程中對待測件位置的調整有重要作用。4.D7系統的 ...

在系統中引入波前畸變，zui終影響M2的測量。為了驗證波前畸變對M2的影響，根據圖4所示的流程圖進行仿真。圖4 仿真縮束組件波相差對激光M2的影響圖5為0°視場下縮束組件的波前圖和各項系數，通過zemax分析可知當入射波長為1064nm時，PV值為0.0039λ，低于λ/10的設計要求。圖5 0°視場下縮束組件波前圖圖6為0°視場下縮束組件的激光M2曲線，根據該結果可知，當視場為0°時，x方向的M2為1.0338，Y方向的M2為1.0340。而隨著視場角度的逐漸增大，x方向的傾斜項、慧差項、離焦項、像散項和球差項均增大，y方向的傾斜項和慧差項則保持不變，計算得到不同視場下的M2，結果如圖7所示 ...

波長允許容忍波前畸變，這些畸變在可見光波長下會嚴重降低圖像質量。（3）激發激光的小光譜帶寬（10nm FWHM）限制了非色散ETL/OL組合可能引入的色差影響。（4）對于大多數測量功能性細胞活動的生物學應用來說，安裝在物鏡附近的ETL/OL組件引入的視場大小變化不會干擾測量。為了記錄功能數據，激光必須在一段時間內反復指向同一組細胞。如果由于放大倍數的變化導致細胞間隔變遠，可以選擇相應的點進行掃描。裝置與定制雙光子顯微鏡結合使用的裝置如圖11所示。圖 11 在雙光子顯微鏡中實現ETL/OL組件的安裝。液態變焦透鏡ETL和OL安裝在與顯微鏡檢測系統相連的定制物鏡支架上。使用可移動的二色分光片DC， ...

其中顯示了濾波前后信號的頻譜以及濾波傳遞函數。在直接調制激光中，高強度符號相對于低強度符號發生藍移。當我們以圖3所示的方式對齊濾波器和信號波長時，信號的紅移部分（低強度符號）比藍移部分（高強度符號）衰減更高。這種調頻（FM）到調幅（AM）的轉換增加了信號的眼界，從而提高了系統的性能。圖3 濾光片前后的信號光譜及濾光片的傳遞函數實驗結果我們首先測量了背靠背的性能，結果如圖4所示，圖4顯示了背靠背操作時的誤碼率和光信噪比（OSNR）。結果表明，在誤碼率約為2.0×10-3處存在誤差層。使用7%的開銷硬決策轉發糾錯（FEC）代碼（導致凈比特率為98.80Gb/s），我們可以實現OSNR大于26dB的 ...

浮雕微結構對波前的振幅和相位進行調控，從而實現入射光束再分布的精密光學器件，可以容易地實現一些傳統折光結構難以實現的效果。同時，DOE也存在一些限制條件，其對于入射激光有著嚴格的要求。在眾多影響因素中，光束質量是一個無法被忽視的因子。對于多模輸出的激光器，其輸出激光可以用近似高斯謝爾模型（GSM）描述。本文利用GSM光束研究光束質量對平頂光DOE輸出光斑的影響。通過模式分解的方法，計算得到不同光束質量的GSM光束經過DOE之后的光斑分布，圖1為利用相干模式表示方法和隨機模式表示方法計算的M2分別為1.0、1.5、2.0和2.5的GSM光束經DOE后的光斑形貌和剖面圖。其中，相干模式計算方法中系 ...