波像差系列（五）-參考點移動產生的波像差、焦深參考點的位置變化時,對于幾何像差而言，只是相當于坐標原點的變化，不會引入新的像差進入到系統中。但是對于波像差而言則不同，擋參考點的位置變化時，相當于參考球面的半徑發生變化，使得新的參考球面與原來的參考球面有所偏離，這就是參考點移動所產生的波像差。若參考點沿波面對稱軸移動，其所引起的波像差變化量 可應用公式以 代替其中的球差來求得，即當參考點在垂軸方向移動時,其所產生的波像差的變化量可對如下公式進行積分而得。此時式中的常量,，并考慮到，得焦深，是焦點深度的簡稱。光學成像系統的焦深指的是當系統像面移動造成的系統波像差變化不超過四分之一波長時，則認為這個 ...

波像差系列（七）-球色差、幾何色差與波像差的關系當光學系統使二色波面在邊緣帶相交即對邊緣孔徑校正波色差時,由于二色波面對參考球面的偏離程度不同，在中間各帶仍會有剩余的波色差存在。這是由于各色光線的球差各不相同而引起的，故稱之為球色差。按照我們幾何像差的觀點，球差隨色光的變化，使得二種色光在某一帶上校正了色差后，其他帶上定有剩余色差。剩余色差的大小,標志著球色差的大小。光學系統應對 0.707 帶校正幾何色差，這與對邊緣帶校正波色差是一致的。這是因為絕大部分系統，幾何色差可認為是與孔徑的平方成比例上式為位置色差的表述形式。如果以孔徑的平方為織坐標軸作色差曲線,則所得為一直線，如下圖所示。它對縱軸 ...

波像差系列（八）-光學系統的像差容限光學系統不可能把像差校正得盡善盡美。那么多大的像差能被認為是允許的？這是一個很重要的問題，也是一個甚為復雜、并且還不能認為已被解決了的問題。原因是光學系統的像差容限不僅與像質評價方法有關，還隨系統的使用條件、使用要求和接收器性能等的不同而不同，而諸多像質評價方法之間雖然有直接或間接的聯系，但它們各自有其局限性，不能用任一種方法來評價各種光學系統。而且有些方法數學推演繁復，計算困難，實際上也很難從像質判據直接得出像差容限。由于波像差與幾何像差之間有著較為方便和直接的聯系，因此，以最大波像差為評價依據的瑞利判斷是一種方便而實用的像質評價方法。利用它可由波像差的允 ...

衍射極限，即波像差＜(1/4-1/10) 。若以輸入面為孔闌，則校正物面像差等價于校正頻譜面像差，校正光闌像差等價于校正輸入面像差。由像差理論可知，物面畸變與光闌彗差間應滿足下列關系：據此，傅里葉變換透鏡為滿足式1，當主光線滿足正弦條件的時候，必存在物面畸變。當滿足無畸變的共線成像關系時，常規光學系統主面是平面，譜面上無畸變的理想像高，而傅里葉變換透鏡要求像高，相當于主面是一個以焦點為中心的球面。傅里葉變換透鏡的畸變為因此，以常規光學系統作為傅氏變換透鏡時，Z大譜面范圍由譜點位置的非線性誤差所限制。傅氏變換透鏡一般能對物面校正球差、彗差、像散、場曲，整個視場內像質達到衍射極限，且對光闌位置校正 ...

技術提供關鍵波像差數據，有助于提高生產效率和產品質量，推動行業的發展。在光刻機行業中，高精度的波前傳感器是關鍵組件之一。它可以實時監測和校正光刻機光學系統中的誤差，從而提高光刻質量和成品率。這款新的紫外波前傳感器的推出，將進一步提升光刻機的性能，加速半導體行業的發展。波前傳感器原理介紹：193nm波前分析儀采用四波橫向剪切干涉技術，該技術是一種用于測量激光波前、光刻物鏡波像差，光學元器件面型表征的技術，其原理是測試光波經過兩個正交（0、π）的相位光柵，獲得四個干涉光束，四束光兩兩干涉，通過測量這四個干涉光束的干涉后的光強分布來計算光波的相位分布。該技術采用0和π的二維光柵作為分光器件，利用該二 ...