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中文:微納光刻;英文:micro/nano lithography

解釋
中文:微納光刻;英文:micro/nano lithography的原理;中文:微納光刻;英文:micro/nano lithography的定義;中文:微納光刻;英文:micro/nano lithography是什么。
利用光束、電子束或離子束曝光系統(tǒng),將預(yù)制的母版微納結(jié)構(gòu)圖形轉(zhuǎn)移到涂覆于基底(如硅片)上的抗蝕劑或光刻膠中的光刻工藝。
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