解釋
中文：相位偏移干涉術；英文：phase shifting in-terferometry / PSI的原理；中文：相位偏移干涉術；英文：phase shifting in-terferometry / PSI的定義；中文：相位偏移干涉術；英文：phase shifting in-terferometry / PSI是什么。
又稱“相移術” “移相術”。通過有規律地移動參考鏡或者其他相位調制方法，使參考光的空域或者時域相位被調制，從而形成干涉條紋的一種干涉術。用CCD采集不同相位的干涉圖，經信號處理求得被測相位分布。
