亮斑，稱為“艾里斑”。因此當兩個點物體距離較近時，它們通過成像系統(tǒng)后形成的兩個艾里斑就會重疊到一起無法分辨，兩個物點恰能分辨的距離就是極限分辨距離，對應(yīng)的張角即為極限分辨角，這就是著名的“瑞利判據(jù)”。科學(xué)家發(fā)現(xiàn)，通常情況下該極限分辨率與光的波長（λ）、成像系統(tǒng)口徑（D）和數(shù)值孔徑（NA）等參數(shù)有關(guān)。瑞利判據(jù)為了獲得更好的成像效果，科學(xué)家嘗試了許許多多的方法：在光刻系統(tǒng)中使用越來越短的光波（如目前因特爾等芯片企業(yè)已開始使用極紫外光），擴大成像系統(tǒng)口徑（如天文望遠鏡口徑已達到10米以上），增加成像系統(tǒng)數(shù)值孔徑（如顯微成像系統(tǒng)使用浸油等方式獲得更大的NA）等，但這些方法都未能擺脫理論極限的影響。“衍 ...

,聚焦光斑（艾里斑）半徑為ωf=1.22λf/D，而遠場發(fā)散角θ=ωf/f。激光遠場發(fā)散角θ表明了激光不顯著發(fā)散開來可傳播的距離，與聚焦能量有關(guān)，是常用的光束質(zhì)量判據(jù)。2.光束質(zhì)量因子β光束質(zhì)量因子β（又稱為衍射極限倍數(shù)因子）是使用較為廣泛的一種激光光束質(zhì)量評價指標，其定義為實際光束遠場發(fā)散角θ（上文中的遠場發(fā)散角）與理想光束遠場發(fā)散θ角之間的比值，即β=θ/θ 。實際光束的β值一般均大于1，β數(shù)值越小，光束質(zhì)量越高（類似于M ）。但是運用β評定光束質(zhì)量時需要忽略不計測量系統(tǒng)造成的衍射影響，β因子必須與測量光學(xué)系統(tǒng)的參數(shù)無關(guān)，此時它是衡量激光器輸出光束質(zhì)量的一個合理特征參數(shù)；且因之可反映實際光 ...

中心亮斑（即艾里斑）占有的光強度比理想成像的時候要低，這兩者的光強度之比稱為Strehl強度比，又稱為中心點亮度，以S.D.表示。Strehl判斷認為，中心點亮度S.D.>= 0.8的時候，該光學(xué)系統(tǒng)是完善的。如下圖，物點發(fā)出的波面經(jīng)過理想光學(xué)系統(tǒng)后，在出射光瞳處得到的是球面波，而實際光學(xué)系統(tǒng)的像差使像方的波面不再是球面波，像差的影響就是通過這種位相的變化而反映為衍射圖樣的變化。如果像差引起的光程差，即波像差為W，那么對于一個像差很小的光學(xué)系統(tǒng)來說中心點亮度S.D.與波像差W之間有相對簡單的關(guān)系，即S.D.=1- k^2 ˉ(W^2 )利用這種關(guān)系和上述S.D. >= 0.8的判據(jù) ...

源的像是一個艾里斑。艾里斑的第一個零點定義為瑞利衍射極限1.22λf#。f-數(shù)是f#盡管瑞利分辨率是表述成像系統(tǒng)分辨率的傳統(tǒng)方法。我們在這里用它來衡量成像系統(tǒng)的自由度。如果一個相干成像系統(tǒng)的探測器平面最大線性尺度是Wd，則圖像可分辨的點數(shù)S正比于：S是系統(tǒng)的信息傳遞能力的基本限制，我們稱其為空間帶寬積(space-bandwidthproduct, SBWP)。一個系統(tǒng)的空間帶寬積是一個定值。由于非相干成像系統(tǒng)的OTF是光瞳函數(shù)的自相關(guān)，所以非相干成像系統(tǒng)的空間帶寬積是4S。但是后續(xù)的討論會忽略掉倍數(shù)4，因為它對計算成像概念的影響很小。對于即將進行的討論，重要的是認識到，在一個平面上使用資源來 ...

孔，則光斑為艾里斑，。根據(jù)用途不同，激光掃描記錄儀的光點尺寸也不同。二是焦距。焦距由要求掃描的像點排列的長度L和掃描角度決定，即當掃描長度一定時，與呈反比關(guān)系。在F數(shù)一定時，應(yīng)盡可能用大的角，小的，以減小透鏡和反射鏡尺寸，從而減小棱鏡表面角度的不均勻性和掃描軸承的不穩(wěn)定性造成的不利影響。又由于入射光瞳位于掃描器上，在實現(xiàn)像方遠心光路時，小可以使物鏡與掃描器之間的距離減小，使儀器軸向尺寸減小。但L一定時，小就大，這給光學(xué)設(shè)計帶來了困難，使光學(xué)系統(tǒng)復(fù)雜，加工制造成本增大。反之，儀器縱向尺寸加大，使用不便。實際工作中，應(yīng)綜合考慮各方面因素，反復(fù)權(quán)衡，才能最后確定。大多數(shù)線性成像物鏡屬于小相對孔徑（一 ...

能主要集中在艾里斑中，而像差的存在使衍射光斑的能量比無像差時更為分散。屬于這一類的像質(zhì)評價方法有斯特列爾判斷、瑞利判斷和分辨率。像差系統(tǒng)，通常用幾何光線的密集程度來表示，與此對應(yīng)的評價方法有點列圖。1，斯特列爾判斷Strehl 強度比（斯特列爾比，Strehl ratio）：當光學(xué)系統(tǒng)有像差時，衍射圖樣中中心亮斑（艾里斑）占有的光強度要比理想成像時有所下降，兩者的光強度比稱為Strehl 強度比，又稱中心點亮度，以 S.D.表示。Strehl判斷（Strehl criterion）：中心點亮度（斯特列爾比）S.D.≥0.8時，系統(tǒng)是完善的。 斯特列爾提出的中心點亮度S.D.≥0.8的判據(jù)是評價 ...