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中文：散射板干涉儀；英文：scatter plate interfero-meter

關鍵詞

解釋

利用一種弱散射板作分束器的一種共路干涉儀。儀器的準單色點光源經透鏡和散射板成像在被檢測鏡面，并反射返回，再次通過散射板，成像于像平面，形成鏡面反射光和散射光的干涉條紋，以檢測鏡面缺陷。

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