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中文：多程干涉術；英文：multipass interferometry

關鍵詞

解釋

又稱“多通道干涉術”。準直光束多次（n次）從光被測波面來回反射或透射，光程差被放大n倍形成多程干涉條紋的干涉術?？墒箿y量靈敏度提n倍。多程干涉儀可用來測量平板的均勻性、大平面的粗糙度、角錐棱鏡的角度誤差等。

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