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中文：化學鍍膜；英文：chemical coating

關鍵詞

解釋

把含有成膜元素的氣態反應劑或液態反應劑蒸氣以合理的流速引入反應室，使其在襯底表面發生化學反應并在襯底上沉積薄膜的鍍膜技術。

相關詞條

中文：襯底；英文：substrate

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