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中文:裂片;英文:chip dicing

關鍵詞
解釋
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一種對機械或激光劃片的輔助工藝。為避免金剛刀刃或者聚焦激光錐形束引起大的切縫和提高工作效率,一般的切割深度只達到大片厚度的2/3,再對切縫施以小的機械應力使之裂成小的芯片。
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