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中文：裂片；英文：chip dicing

關(guān)鍵詞
解釋
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 一種對(duì)機(jī)械或激光劃片的輔助工藝。為避免金剛刀刃或者聚焦激光錐形束引起大的切縫和提高工作效率，一般的切割深度只達(dá)到大片厚度的2/3，再對(duì)切縫施以小的機(jī)械應(yīng)力使之裂成小的芯片。
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