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中文：激光劃片；英文：laser scribing

關(guān)鍵詞
解釋
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 一種利用高相干激光束將外延晶圓大片分割成小芯片的工藝。與傳統(tǒng)的金剛刀機(jī)械劃片不同，該工藝具有切縫小、對芯片的熱和機(jī)械損傷小等優(yōu)點(diǎn)。
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