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中文：激光劃片；英文：laser scribing

關鍵詞

解釋

一種利用高相干激光束將外延晶圓大片分割成小芯片的工藝。與傳統的金剛刀機械劃片不同，該工藝具有切縫小、對芯片的熱和機械損傷小等優點。

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