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中文：量子刻蝕；英文：quantum lithography

關鍵詞

解釋

利用光場的量子性質或具有量子關聯和量子糾纏特性的光場，以期在分辨率等方面獲取優于經典光場刻蝕的結果而進行的成像刻蝕。

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