馬赫-曾德?tīng)?span style="color:red;">干涉儀型腔的量子級(jí)聯(lián)激光器寬單模調(diào)諧量子級(jí)聯(lián)(QC)激光器是一種強(qiáng)大而緊湊的半導(dǎo)體光源。在中紅外波段,它們是目前分子傳感中基于吸收的光譜系統(tǒng)中非常有利的光源。由于這些系統(tǒng)利用了不同氣體分子的強(qiáng)而窄的吸收線,它們要求QC激光器在單模下工作,并且是連續(xù)的,廣泛可調(diào)的。研究并實(shí)現(xiàn)了實(shí)現(xiàn)波長(zhǎng)選擇性和可調(diào)性的不同方法。直到zui近,大多數(shù)QC激光器的單模操作已經(jīng)通過(guò)在常規(guī)Fabry-Perot QC激光器的頂部合并周期性光柵實(shí)現(xiàn),例如分布式反饋光柵或分布式布拉格反射器。然而,需要在波長(zhǎng)尺度上精確的周期結(jié)構(gòu)需要更復(fù)雜的制造步驟(例如,電子束光刻),通常導(dǎo)致更高的成本和更低的產(chǎn)量。機(jī)械可移動(dòng)光柵 ...
干涉儀多平面測(cè)量干涉儀是一個(gè)高精度測(cè)量方法,但是測(cè)量樣品多個(gè)表面,每個(gè)表面都可能返回光束,影響測(cè)量。如果需要測(cè)量樣品的多個(gè)面,每次測(cè)量一個(gè)面的時(shí)候,需要在其他面涂抹消光材料抑制反光。這里講述描述一種,使用可調(diào)諧激光器一次性測(cè)量樣品多個(gè)面的方法。假設(shè)干涉儀返回的光束,包含三個(gè)面,一個(gè)是參考光,第二個(gè)是樣品前表面的測(cè)試光,第三個(gè)是樣品后邊面的返回光束。所以如果相機(jī)前的整個(gè)光束可以描述為沒(méi)有背景光的情況下通常不考慮背光反射的情況下,干涉圖光強(qiáng)分布求解他的相位部分,可以將整個(gè)光束乘以一個(gè)復(fù)平面后,做一個(gè)低通后求復(fù)角度。做一個(gè)低通后求復(fù)角度。低頻部分為,所以只要求他復(fù)角就可以得到相位部分沒(méi)有背景光,但是 ...
使用f-2f干涉測(cè)量法來(lái)檢測(cè)載波包絡(luò)偏移頻率,它包含一個(gè)超連續(xù)譜產(chǎn)生模塊、二次諧波產(chǎn)生材料和一個(gè)光電探測(cè)器。鎖定fceo的f-2f自參考過(guò)程通常要求激光擁有至少1 nJ的脈沖能量(即frep頻率= 1 GHz時(shí),平均功率> 1 W),這樣才能方便與干涉儀進(jìn)行高精度對(duì)準(zhǔn)。由于光頻梳偏頻測(cè)量模塊(COSMO)使用了納米光子波導(dǎo),它可以使用比傳統(tǒng)方法低得多的脈沖能量來(lái)檢測(cè)載波包絡(luò)偏移頻率,它允許以小于200 pJ (即frep頻率=1 GHz時(shí),平均功率< 200 mW,其中frep是指重復(fù)頻率)的脈沖能量精確檢測(cè)fceo,這使得光頻梳偏頻測(cè)量模塊(COSMO)可以與各種頻率的光梳一起使 ...
四波橫向剪切干涉技術(shù),可以工作在190-400nm波段,消色差,具有2nm RMS的相位檢測(cè)靈敏度,能夠精確測(cè)量紫外光波前的細(xì)微變化。SID4-UV-HR 紫外波前分析儀非常適合紫外光學(xué)元件表征(DUV光刻、半導(dǎo)體等領(lǐng)域)和表面檢測(cè)(透鏡和晶圓等)。193nm 紫外波前傳感器(512x512 高相位分辨率)在半導(dǎo)體/光刻機(jī)行業(yè)中具有重要作用。該傳感器具有高分辨率,消色差,對(duì)震動(dòng)不敏感,高靈敏度(2nm RMS)等特點(diǎn),可以為半導(dǎo)體制造和光刻機(jī)技術(shù)提供關(guān)鍵波像差數(shù)據(jù),有助于提高生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量,推動(dòng)行業(yè)的發(fā)展。在光刻機(jī)行業(yè)中,高精度的波前傳感器是關(guān)鍵組件之一。它可以實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)和校正光刻機(jī)光學(xué)系統(tǒng) ...
ehnder干涉儀,該值適合于高比特率。在室溫下,以10.3125Gb/s的直接調(diào)制速率,使用非歸零(NRZ)數(shù)據(jù)(偽隨機(jī)二進(jìn)制序列(PRBS)模式長(zhǎng)度)評(píng)估頻率偏差。圖3(a)顯示了整個(gè)序列中20位的時(shí)間分辨啁啾和強(qiáng)度波形。圖3(b)給出了序列的細(xì)節(jié),啁啾的兩個(gè)組成部分(絕熱和瞬態(tài))都很明顯。在高比特率下,瞬態(tài)分量比絕熱分量更重要。在一長(zhǎng)串邏輯“0”之后,可以清楚地觀察到上升沿上的高超調(diào),而這種超調(diào)在下降沿上不太明顯。通過(guò)觀察邏輯狀態(tài)“0”和邏輯狀態(tài)“1”之間的頻率差,可以看到絕熱分量,大約為5GHz。1.33-um VCSEL峰對(duì)峰啁啾值約為18-20GHz。在1.5-um直接調(diào)制VCSE ...
關(guān)重要。原子干涉檢測(cè)提供高精度和可擴(kuò)展技術(shù)能夠更敏感地檢測(cè)諸如更小的尺寸和更大深度等特征。許多原子光學(xué)應(yīng)用傾向于使用高激光功率,同時(shí)保持窄線寬和高空間光束質(zhì)量。例如,在利用冷原子干涉測(cè)量中,從1560nm源生成780nm(SHG)用于銣原子的磁光捕獲(MOT),如重力測(cè)量和原子鐘。[1]在這些應(yīng)用中,現(xiàn)成商用(COTS)激光器在1560nm波長(zhǎng)上可以高轉(zhuǎn)換效率倍頻到780nm,在波導(dǎo)解決方案中已經(jīng)展示了高達(dá)70%的的轉(zhuǎn)換效率[2]。將商用泵浦激光器組件與倍頻晶體相結(jié)合,可以經(jīng)濟(jì)地生成支持銣原子捕獲所需的功率和窄線寬的780nm激光。圖2:六個(gè)方向的激光用來(lái)冷卻原子(圖片來(lái)源:圖片來(lái)源:http ...
。波導(dǎo)、多模干涉器(MMI)耦合器和光柵耦合器的性能模擬結(jié)果表明,300nm SiN肋層疊加在300nm LN層上的混合平臺(tái)適合太赫茲信號(hào)的電光采樣。下一節(jié)所展示的實(shí)驗(yàn)結(jié)果就是基于薄膜鈮酸鋰這個(gè)波導(dǎo)平臺(tái)。圖2.高折射率對(duì)比度薄膜鈮酸鋰混合波導(dǎo)的制造流程器件布局和制作器件如圖3所示。光通過(guò)為T(mén)E模式設(shè)計(jì)的光柵耦合器從光纖耦合到波導(dǎo)中。耦合到芯片上的光通過(guò)多模干涉器(MMI)耦合器平均分配到馬赫-曾德?tīng)枺∕Z)調(diào)制器的兩個(gè)臂上。馬赫-曾德?tīng)枺∕Z)調(diào)制器中每個(gè)臂的長(zhǎng)度為6mm。然后,馬赫-曾德?tīng)栒{(diào)制器的兩個(gè)臂中的光再次通過(guò)多模干涉器耦合器合并,并使用第二個(gè)光柵耦合器耦合到輸出光纖。切割后的設(shè)備的總 ...
四波橫向剪切干涉儀,稱(chēng)為SID4波前傳感器,QWLSI技術(shù)是為了克服Shack-Hartmann (SH)技術(shù)的分辨率不足而開(kāi)發(fā)的。它采用了智能衍射光柵設(shè)計(jì),具有高靈敏度、高分辨率、高重復(fù)性的特點(diǎn)。圖1 SID4波前傳感器部分測(cè)試結(jié)果圖★什么是波前傳感器?波前傳感器是一種設(shè)計(jì)用來(lái)測(cè)量光波前的裝置。術(shù)語(yǔ)“波前傳感器”;適用于不需要任何參考光束干擾的波前測(cè)量?jī)x器。波前傳感器的應(yīng)用范圍很廣,如光學(xué)測(cè)試和對(duì)準(zhǔn)(表面測(cè)量)、傳輸波前誤差測(cè)量、調(diào)制。★QWLSI四波橫向剪切干涉測(cè)量原理四波橫向剪切干涉測(cè)量(QWLSI原理) 具有納米級(jí)靈敏度和高分辨率的相位和強(qiáng)度。這項(xiàng)創(chuàng)新技術(shù)依靠衍射光柵將入射光束復(fù)制成4 ...
四波橫向剪切干涉法的超表面光學(xué)表征法國(guó)CNRS CRHEA 實(shí)驗(yàn)室,S. Khadir- arXiv:2008.11369v1下圖2描述了對(duì)一個(gè)Pancharatnam-Berry (PB) 超透鏡使用了兩種不同的圓偏振態(tài)進(jìn)行測(cè)量:右旋和左旋。根據(jù)設(shè)計(jì),當(dāng)改變偏振狀態(tài)時(shí),該超透鏡會(huì)生該超透鏡會(huì)生成正透鏡或負(fù)透鏡。圖2: 左側(cè)顯示波前曲率的相位圖,右側(cè)是其相應(yīng)的曲線輪廓。中間相位圖譜展示在濾掉波前曲率后殘余的波前誤差。Phasics的QWLSI技術(shù)不會(huì)受到偏振的影響,因此在從右旋圓偏振切換到左旋圓偏振時(shí),我們的設(shè)備仍然可以對(duì)波前進(jìn)行詳細(xì)表征。圖2展示了波前曲率的變化。此外,可以通過(guò)濾掉主要的波前 ...
允許引入光譜干涉。這些測(cè)量的載氣是CDA,以確定絕對(duì)基線靈敏度。這個(gè)低檢測(cè)水平構(gòu)成DMMP激光光聲檢測(cè)的噪聲限制底限。DMMP的低檢測(cè)水平為~ 0:5 ppb,這與我們使用基于CO2激光的光聲探測(cè)器進(jìn)行氨檢測(cè)的zui終靈敏度測(cè)量結(jié)果一致,其中,使用CO2激光功率為~ 2W,我們已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了氨檢測(cè)靈敏度為~ 20萬(wàn)億分之一,(ppt,零件數(shù)為1012)。考慮到單頻可調(diào)諧QCL的較低激光功率和差值圖4。在CDA中測(cè)量的100 ppb DMMP的QCL-PAS光譜覆蓋在DMMP的FTIR參考光譜上。在氨轉(zhuǎn)變的峰吸收系數(shù)[吸光度為~ 3:1 × 10?3 × ppm=mT?1]和DMMP特征[8][吸光 ...
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