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合法計算激光束腰寬度和遠場發散角，從而計算出激光的M2。圖1 光束質量測量原理示意圖衰減組件熱致相差對光束質量因子的影響仿真要測量高功率激光光束質量，需要將激光功率衰減至微瓦量級，衰減光學元器件在強激光作用下會產生熱形變，引發激光熱致像差，zui終影響M2的測量。本文通過COMSOL軟件對激光熱致形變進行仿真，并將產生的相差增加到激光復振幅上，以此研究出激光熱致像差對激光光束質量因子M2的影響。仿真參數和結果分別如表1和圖2所示，其中激光波長為1080nm，光斑半徑為24.3mm，激光模式為單模，環境溫度為20℃，光學器件材料為熔石英玻璃。表1 熔石英玻璃參數圖2 熔石英玻璃在3KW功率下的熱 ...
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