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中文：米勞干涉儀；英文：Mirau interferometer

關(guān)鍵詞

解釋

一種嵌入顯微物鏡中的緊湊型干涉儀。其測試光路和參考光路共用一個(gè)光路，測量時(shí)不會引入附加光程差。用于測量物體表面微觀輪廓、表面紋理等參數(shù)，縱向測量分辨率可達(dá)亞納米量級。

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