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中文：米勞干涉儀；英文：Mirau interferometer

解釋
中文：米勞干涉儀；英文：Mirau interferometer的原理；中文：米勞干涉儀；英文：Mirau interferometer的定義；中文：米勞干涉儀；英文：Mirau interferometer是什么。
 一種嵌入顯微物鏡中的緊湊型干涉儀。其測(cè)試光路和參考光路共用一個(gè)光路，測(cè)量時(shí)不會(huì)引入附加光程差。用于測(cè)量物體表面微觀輪廓、表面紋理等參數(shù)，縱向測(cè)量分辨率可達(dá)亞納米量級(jí)。
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