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中文：去膠；英文：removal of resist
關鍵詞
去膠
removal of resist
解釋
中文：去膠；英文：removal of resist的原理；中文：去膠；英文：removal of resist的定義；中文：去膠；英文：removal of resist是什么。
經過光刻和刻蝕工藝、在硅片上形成微納結構后，將硅片上不需要的光致抗蝕劑去除的工藝。
相關詞條
中文：刻蝕；英文：etching
中文：光致抗蝕劑；英文：photo resist
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