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中文:分子束外延;英文:molecular beam epi-taxy / MBE

解釋
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在超高真空條件下,把構成晶體的各個組分和摻雜的原子(分子),以一定的熱運動速度,按一定的比例從噴射爐中噴射到基片上進行晶體外延生長的一種方法。
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