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中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate

解釋
中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate的原理；中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate的定義；中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate是什么。
 待刻蝕基底為平面時的光刻工藝。
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