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中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate
關(guān)鍵詞
非平面光刻
lithography on nonpla-nar substrate
解釋
中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate的原理；中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate的定義；中文：非平面光刻；英文：lithography on nonpla-nar substrate是什么。
待刻蝕基底為非平面（如球面、拋物面等）時的光刻工藝。
相關(guān)詞條
中文：平面光刻；英文：lithography on planar sub-strate
中文：刻蝕；英文：etching
中文：襯底；英文：substrate
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