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中文：逆向光刻；英文：inverse lithography

解釋
中文：逆向光刻；英文：inverse lithography的原理；中文：逆向光刻；英文：inverse lithography的定義；中文：逆向光刻；英文：inverse lithography是什么。
 依據(jù)光刻成像理論，利用目標(biāo)光刻成像性能作為評(píng)價(jià)函數(shù)，逆向優(yōu)化光刻設(shè)備（照明和物鏡系統(tǒng)）、掩模和工藝參數(shù)的光刻工藝。
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